等離子清洗機在現(xiàn)在的工業(yè)生產(chǎn)中起到很重要的作用，現(xiàn)在等離子清洗機在很多企業(yè)中都是不可缺少的清洗設(shè)備。等離子清洗不需要添加任何溶劑，且無有害物質(zhì)產(chǎn)生，也通常被叫做環(huán)保型的干式清洗，那么等離子清洗機是如何達(dá)到清洗的效果呢？

等離子體清洗原理：通過化學(xué)或物理作用對工件表面進(jìn)行處理，實現(xiàn)分子水平的污染物去除（一般厚度為幾個～幾十個nm）。被清除的污染物可能為有機物、環(huán)氧樹脂、光刻膠、氧化物、微顆粒污染物等。對應(yīng)不同的污染物，應(yīng)采用不同的清洗工藝。按照清洗原理可以分為：物理清洗和化學(xué)清洗。自動等離子清洗機

物理清洗：表面作用以物理反應(yīng)為主的等離子體清洗，也叫濺射腐蝕（SPE）。我們以Ar來說明等離子清洗機的化學(xué)反應(yīng)。

例：Ar＋e- →Ar＋＋2e-     Ar＋＋沾污→揮發(fā)性沾污

Ar＋在自偏壓或外加偏壓作用下被加速產(chǎn)生動能，然后轟擊在放在負(fù)電極上的被清洗工件表面，工件表面的污染物被轟擊后，游離在腔體內(nèi)部，然后經(jīng)過真空泵抽出腔體外部。一般用于去除氧化物、環(huán)氧樹脂溢出或是微顆粒污染物。

化學(xué)清洗:表面作用以化學(xué)反應(yīng)為主的等離子體清洗，又稱PE。

例1：O2＋e- →2O*＋e-      O*＋有機物→CO2＋H2O

從反應(yīng)式可見，氧等離子體通過化學(xué)反應(yīng)可使非揮發(fā)性有機物變成易揮發(fā)的H2O和CO2。

例2：H2＋e- →2H*＋e-      H*＋非揮發(fā)性金屬氧化物→金屬＋H2O

從反應(yīng)式可見，氫等離子體通過化學(xué)反應(yīng)可以去除金屬表面氧化層，通常用于清潔金屬表面，在清洗過程中避免金屬氧化。,等離子清洗機廠家

在正常的清洗過程中物理清洗與化學(xué)清洗時同時存在的，可以根據(jù)具體要求選擇不同的工藝氣體。

親，感謝您耐心的閱讀！如果此文對您有所幫助，敬請點個贊或者關(guān)注一下；如果您有更好的建議或內(nèi)容補充，歡迎在下方評論區(qū)留言與我們互動。深圳鑫科隆工業(yè)機器人公眾號的宗旨是專注等離子清洗機表面處理工藝和低溫等離子體的技術(shù)研討，深圳市普拉斯瑪自動化設(shè)備有限公司與您分享等離子表面處理工藝、原理及應(yīng)用等相關(guān)知識。