深圳市普拉斯瑪自動化設備有限公司
聯(lián)系人：鄒軍
手機：13823299736
電話：86-755-23287290
傳真：86-755-23287348
網址：m.xkdbgk733.cn
地址：深圳市寶安區(qū)松崗街道沙浦社區(qū)洋涌工業(yè)區(qū)八路2號碧桂園廠房6棟305
等離子清洗機 BP980
設備規(guī)格:
Item | Specification | Remark |
制程規(guī)劃 | 手動將產品或載盤，放入腔體中的多層電極架中，高頻電源系統(tǒng)，對于擺放在電極架拖盤上或是料盒中的產品進行真空等離子表面改質 | |
傳送方式 | 手動上下料（料盒） | 可放置12個料盒/CT約400秒 |
腔體 | 材質：SUS 304 | |
內腔容積約110L（W:450mm*H450mm*D540mm） | ||
強化安全玻璃真空腔體窗口 ，抗紫外線及高頻輻射 | ||
真空泵 | 真空泵萊寶D-60T+鮑斯BSJ-70羅茨泵 | 雙級泵組 |
制程壓力10~100pa之間 | ||
壓力量測范圍10-3~1 torr | ||
制程氣體 | 混和氣體：95% Ar+5%H2 | 氣體用量約：5~40sccm之間 |
質流量控制SEVEN START D70 | ||
等離子電源 | 型式：射頻RF Generator（含自動匹配器） | |
頻率：13.56MHz | ||
功率：0-600Watt | ||
等離子效應 | 載盤（電極）間互相電容感應式產生區(qū)域等離子 | |
氣體流場分布 | 門板前端進氣口均勻導入制程氣體 | |
有效層流，提升等離子均勻度，由腔體后方排氣 | ||
安全聯(lián)鎖 | 當腔體門打開，真空PUMP閥件關閉與RF電源無法啟動 | |
緊急停止開關EMS | 使用鎖定類型緊急停止開關和放置在方便操作的區(qū)域 | |
控制 | PLC+威倫觸摸屏/3級密碼 |
廠務需求:
項目 | 規(guī) 格 | |
電 力 | 相 （Phase）/ 線 （Line） | 3 / 4 |
電壓（Volt)）/ 頻率（Hz） | 380 V/ 50Hz | |
功率（Power） | 4.5KVA Grounding | |
壓縮空氣 | CDA | 破真空用/氣動組件需求 |
壓力 Pressure （kg/cm2） | 6 | |
流量 flow rate （LPM） | 80 | |
管徑 Pipe dia.（mm） | 外徑6mm內徑4mm | |
排 氣 | 內循環(huán) | 安裝原廠油氣過濾與回收套件 |
管徑 Pipe dia.（inch） | DN40 | |
外型尺寸 （Outline） | 寬*高*深（mm） | 約1100*1600*1060（含三色燈） |
運轉重量（kg） | 約550 KGW | |
軟件應用：
1 整合方式PLC程序控制
2 觸控式顯示面板控制(臺灣威倫)。
3 最大5組製程參數預設及儲存。
受訓內容： (先期廠商端簡易驗收/廠商端受訓)
1 訓練程序表：安裝，校正，操作，故障原因追查，保養(yǎng)及維修。
2 訓練時間及地點：在安裝機地點或客戶端4小時教育訓練。
